这份文件是国际标准化组织（ISO）发布的关于洁净室和相关受控环境的第14部分标准，即ISO 14644-14:2016。该标准主要关注通过空气中颗粒物浓度的测量来评估设备在洁净室和受控环境中使用的适宜性。
内容概述
- 范围：本部分ISO 14644规定了一种方法，用于评估设备（例如机械、测量设备、工艺设备、组件和工具）在洁净室和相关受控环境中使用时，与空气中颗粒物清洁度相关的适宜性。
- 规范性引用：提到了其他相关文件，如ISO 14644-1，这些文件中的部分内容构成了本文件的要求。
- 术语和定义：定义了与本文件相关的专业术语，如清洁度、洁净室、洁净室适宜性、洁净区、去污染和设备等。
- 评估概述：描述了洁净室适宜性评估的一般步骤，包括确定测试范围、视觉检查、建立与ISO 14644-1分类系统的联系、执行测量、数据处理和结果陈述。
- 视觉检查：在进行基于测量的评估之前和之后，应对设备进行视觉检查。
- 通过空气中颗粒物浓度测量评估适宜性：描述了使用空气中颗粒物排放测量的适宜性评估方法，包括评估程序、操作模式、测试环境考虑因素、测试环境的确定、HPC位置的识别、适用性测量和数据处理。
- 文档记录：说明了测试的文档记录要求，包括测试描述、标准引用、测试日期和地点、测试人员、客户信息、设备描述、测试对象标识、视觉检查记录、测试环境评估和分类测量记录。
- 洁净室适宜性声明：如何声明设备的洁净室适宜性，包括根据ISO 14644-14进行的评估和代表操作模式的声明。
附录部分提供了数据处理示例和附加可选测试的额外信息。
该标准旨在确保洁净室和受控环境中使用的设备在运行时不会增加过多的颗粒物，从而影响空气质量和生产过程。它为设备选择和测试提供了一个评估框架，以维持所需的空气颗粒物浓度水平。
