这份文件是国际标准化组织（ISO）发布的关于洁净室和相关受控环境的第15部分标准，即ISO 14644-15:2017。该标准主要关注通过空气中化学浓度的评估来确定设备和材料在洁净室和受控环境中使用的适宜性。
内容概述
- 范围：本文件提供了评估在洁净室和相关受控环境中使用的设备和材料的化学空气清洁度的要求和指南。
- 规范性引用：提到了其他相关文件，如ISO 14644-8，这些文件中的部分内容构成了本文件的要求。
- 术语和定义：定义了与本文件相关的专业术语，如空气化学污染、空气清洁度、突破体积、化学污染、洁净室、洁净区、控制区、排放和排放率等。
- 符号：列出了用于测试设置和评估中相关计算的符号及其含义。
- 测试设置：描述了收集测试环境中污染物样本的封闭设计、特殊应用封闭设计和开放设计的测试设置。
- 代表性模式：说明了设备和材料在测试中的代表性工作模式或状态。
- 目视检查：在进行任何定量评估之前，对设备和材料进行定性的视觉清洁度评估。
- 测试描述：概述了必要的取样和分析步骤。
- 测量浓度的计算：提供了从分析质量值、采样流速和采样持续时间计算浓度值的公式。
- 特定排放率的计算：描述了封闭设计和开放设计测试设置的特定排放率计算方法。
- 评估：使用特定排放率来评估对化学浓度（ACC）控制区的影响，这可以用于给定的安装或在设计洁净室或控制区时。
- 文档记录：说明了测试设置和分析信息的文档记录要求，以便于重复测试以进行适宜性评估。
附录部分提供了有关设备和材料在现有洁净室/控制区安装时的适宜性评估的示例计算。
该标准旨在确保洁净室和受控环境中使用的设备和材料不会产生影响产品质量、工艺或设备的空气污染物。它为洁净室和受控环境中的设备和材料选择提供了一个评估框架，以维持所需的空气化学浓度水平。
