这份文件是国际标准化组织（ISO）发布的关于洁净室和相关受控环境的第13部分标准，即ISO 14644-13:2017。该标准主要关注通过清洁方法达到颗粒和化学分类定义的清洁度水平。
内容概述
- 范围：该文件提供了清洁洁净室表面、洁净室内设备表面以及洁净室内材料表面的指导方针，以实现颗粒浓度（ScP）和化学浓度（ScC）类别的特定清洁度水平。
- 术语和定义：定义了与固体表面清洁度相关的术语，例如清洁度、清洁适宜性、清洁效率和污染。
- 通用方法：概述了实现定义的表面清洁度水平所需考虑的多个方面。
- 对象描述：考虑了对象的物理和化学属性，以及可能影响清洁方法选择的其他特定要求。
- 清洁度规范：说明了如何确定清洁方法的适宜性，包括污染物的关注点和可接受的污染水平。
- 初始污染水平的确定：说明了如何定量或定性地确定感兴趣表面的初始表面清洁度。
- 其他要求：在选择清洁方法时，除了清洁性能和产品完整性外，还需要考虑的其他要素。
- 清洁方法的选择：描述了如何根据清洁度规范、污染物类型、材料兼容性和评估方法选择清洁技术。
- 材料兼容性检查：在选择清洁剂时，需要考虑其与待清洁材料或物品的兼容性。
- 清洁验证：说明了如何评估选定清洁程序的适宜性，包括清洁效率和适宜性。
- 测量方法：描述了直接和间接测量清洁度的方法，包括视觉检查、各种显微镜技术、光谱分析和质谱分析。
- 文档记录：说明了如何记录决策树中每个步骤的结果，并提交为综合报告。
附录部分提供了有关清洁方面的额外信息，包括清洁方法、材料与清洁剂的兼容性以及清洁度测量方法。
该标准旨在为洁净室和受控环境中的清洁工作提供指导，以确保达到适当的清洁度水平，从而满足特定行业如微电子、制药、医疗设备等对清洁度的要求。
