这份文件是国际标准化组织（ISO）发布的关于洁净室和相关受控环境的第12部分标准，即ISO 14644-12:2018。该标准主要关注通过纳米级颗粒浓度监测空气清洁度。
内容概述
- 范围：该文件涵盖了以空气中纳米级颗粒浓度为基础的空气清洁度监测。
- 术语和定义：
- 洁净室：控制并分类空气中颗粒物浓度的房间，旨在控制室内颗粒物的引入、产生和滞留。
- 洁净区域：控制并分类空气中颗粒物浓度的特定空间，旨在控制污染物的引入、产生和滞留。
- 纳米级：大约1纳米到100纳米的长度范围。
- 纳米颗粒：所有外部尺寸都在纳米级范围内的纳米对象，其中最长和最短轴的长度没有显著差异。
- 气溶胶：悬浮在气体中的固体或液体颗粒系统。
- 占用状态：洁净室或洁净区域在规定的工作状态下，设备运行且有规定数量的人员在场。
- 测量设备：
- 凝结粒子计数器（CPC）：测量气溶胶中颗粒数浓度的仪器。
- 计数效率：给定尺寸范围内报告的颗粒浓度与实际浓度的比率。
- 监测：
- 监测的目的是验证客户指定的监测限制和要求。
- 监测方法应提供系统化的计划、明确定义的程序，并确定如何执行评估。
- 通常使用凝结粒子计数器（CPC）进行空气中纳米级颗粒的计数。
- 测试报告：
- 测试结果应记录并作为综合报告提交。
- 数据总结应包括对监测数据的不利趋势、操作水平和任何与监测计划一致的调查要求的审查。
- 附录A（资料性附录）：提供了通过凝结粒子计数监测的参考方法。
- 附录B（资料性附录）：讨论了颗粒计数效率和颗粒尺寸截止的问题。
- 参考文献：列出了与该标准相关的其他ISO标准和文献。
- 版权和发布信息：文件受版权保护，未经许可不得复制或以其他方式使用。
该标准主要适用于在操作状态下的洁净室，以监测和控制纳米级颗粒的浓度。它考虑了纳米颗粒的来源、化学性质、传输行为以及与亚微米和宏观颗粒的不同之处。此外，还提供了关于如何进行监测、设备要求、测试条件、采样方法和结果记录的详细信息。
