这份文件是国际标准ISO 14644-10:2022的第十部分，标题为“洁净室及受控环境 第10部分：通过化学污染评估表面洁净度”。
内容概要
- 范围：本文档建立了确定洁净室中固体表面洁净度的适当测试流程，以化学化合物或元素（包括分子、离子、原子和粒子）的存在为考量。
- 规范性引用：本文档不包含规范性引用。
- 术语和定义：提供了与表面洁净度相关的专业术语和定义。
- 测试和分级表面化学水平：
- 描述了洁净表面化学污染水平测试的原则。
- 提供了ISO表面化学洁净度（SCC）等级描述符的格式。
- 描述了ISO-SCC等级。
- 提供了将物质转换为表面原子浓度的转换器。
- 测量表面化学污染洁净度并展示等级符合性：
- 描述了良好洁净度评估的标准。
- 描述了文档和报告的原则、测试以及测试报告。
- 附录：
- 附录A提供了不同单位表达的表面浓度之间转换的信息。
- 附录B讨论了影响测试和结果解释的参数。
- 附录C提供了进行良好洁净度评估的基本考虑因素。
- 附录D详细说明了展示符合性所需的测量方法。
- 附录E提供了测试记录文档的示例。
- 参考文献：列出了与表面洁净度、化学分析、洁净室操作等相关的其他标准和文献。
ISO 14644-10:2022专注于通过化学污染评估表面洁净度，适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，如墙面、天花板、地面、工作台面、工具、设备和装置。该标准提供了不同化学污染物的ISO-SCC等级，并用于指定洁净室和受控环境中的空气化学洁净度水平。
