这份文件是国际标准ISO 14644-9:2022的第九部分，标题为“洁净室及受控环境 第9部分：通过粒子浓度评估表面洁净度”。
内容概要
- 范围：本文档建立了用于评估洁净室和相关受控环境中固体表面洁净度级别的程序，提供了测试和测量方法的建议，以及有关表面特性的信息。
- 规范性引用：本文档不包含规范性引用。
- 术语和定义：提供了与表面洁净度相关的专业术语和定义。
- 表面洁净度级别评估系统：
- 提出了一个表面洁净度级别（SCP）的分级系统，通过粒子浓度来指定最大允许的粒子浓度。
- SCP分级数由公式确定，考虑了粒子大小和单位面积表面上允许的最大粒子总数。
- 符合性展示：
- 描述了如何通过测试和提供测试结果文档来验证符合客户指定的SCP级别要求。
- 测试报告：测试结果应记录并提交为一份全面的报告，包括符合或不符合特定SCP级别的声明。
- 附录：
- 附录A提供了有关表面的一般信息，包括表面特性。
- 附录B描述了特定粒子大小范围的描述符。
- 附录C讨论了影响SCP分级水平评估的参数。
- 附录D提供了通过粒子浓度确定表面洁净度的测量方法。
- 参考文献：列出了与表面洁净度、粒子测量、静电、表面特性等相关的其他标准和文献。
ISO 14644-9:2022专注于通过粒子浓度评估表面洁净度，适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，如墙面、天花板、地面、工作区、工具、设备和产品。该标准提供了不同大小粒子的ISO-SCP等级，并用于指定洁净室和受控环境中的空气化学洁净度水平。
