这份文件是国际标准ISO 14644-8:2022的第八部分,标题为“洁净室及受控环境 第8部分:通过化学浓度评估空气洁净度 (ACC)”。
内容概要
- 范围:本文档建立了确定洁净室及受控环境中空气化学洁净度(ACC)分级水平的典型评估流程,以特定化学物质(单独的、一组或类别)的空气浓度为基础,并提供了包括测试方法、分析和时间加权因子在内的协议,以确定这些水平。
- 规范性引用:本文档不包含规范性引用。
- 术语和定义:提供了与洁净室操作相关的专业术语和定义,例如化学污染、空气化学洁净度(ACC)、空气化学污染、表面洁净度、表面化学污染、污染类别、挥发和空气化学洁净度等级等。
- 测试和监测:
- 测试或监测应使用ISO-ACC描述符指定。
- ISO-ACC描述符格式为ISO-ACC等级N(X),其中X是化学物质或化学物质组,N是ISO-ACC等级,表示每立方米允许的给定化学物质或化学物质组的最大浓度(以克为单位)。
- 展示符合ISO-ACC水平:通过执行测试程序和提供测试结果和条件的文档来验证符合客户指定的ISO-ACC水平要求。
- 附录:
- 附录A提供了影响或有助于洁净室或受控环境中ACC的参数的考虑。
- 附录B列出了可能对产品或工艺造成影响的典型化学污染物和类别。
- 附录C提供了化学污染测量和分析的典型方法。
- 附录D考虑了分离设备(如洁净空气罩、手套箱、隔离器和微型环境)的特定要求。
- 参考文献:列出了与洁净室设计、建造、启动、操作、污染控制等相关的其他标准和文献。
ISO 14644-8:2022是涉及洁净室和受控环境的一系列标准之一,它专注于通过化学浓度评估空气洁净度。该标准提供了不同化学污染物的ISO-ACC等级,用于指定洁净室和受控环境中的空气化学洁净度水平。