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这份文件是《ISO 14644-3:2019 洁净室及受控环境 第3部分：测试方法》的国际标准。
内容概括
- 范围：该标准提供了洁净室和洁净区域的测试方法，以满足空气洁净度分类、其他洁净属性和相关控制条件的要求。
- 规范性引用：没有规范性引用。
- 术语和定义：定义了与文档相关的一些关键术语，例如洁净室、洁净区域、安装、分离设备、分辨率、灵敏度等。
- 测试程序：
- 洁净室测试。
- 支持测试，如空气压力差测试、气流测试、气流方向测试和可视化、恢复测试、温度测试、湿度测试、安装过滤系统泄漏测试、密闭性泄漏测试、静电和离子发生器测试、粒子沉积测试、区域分割测试。
- 测试报告：每次测试的结果应被记录在测试报告中，包括测试组织的名称和地址、测试日期、ISO 14644-3:2019的引用、洁净室或洁净区域的物理位置识别、指定的洁净室或洁净区域的分类标准、使用的测试方法的详细信息以及测试结果。
附录A（资料性）提供了制定监测计划时需要考虑的事项，包括风险评估工具的选择、所需性能和操作条件的定义、一般事项、压差监测和空气中粒子监测系统的考虑事项。
附录B（资料性）提供了设置警报和行动水平的考虑事项，包括警报和行动水平的一般基础、压差监测的警报和行动水平设置、空气中粒子计数的警报和行动水平设置。
附录C（资料性）描述了推荐的测试使用的测量设备。
附录D（资料性）提供了测试方法的详细说明。
文档还包括参考文献和其他相关信息。
