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这份文件是《ISO 14644-2:2015 洁净室及受控环境 第2部分：通过粒子浓度提供洁净室性能相关空气洁净度的监测》的国际标准。
内容概述
- 范围：该标准规定了基于风险评估的洁净室或洁净区域性能监测计划的最低要求，监测与空气中的粒子浓度相关的参数。
- 规范性引用：提到了其他相关标准和文档，如ISO 14644-1:2015。
- 术语和定义：定义了与文档相关的一些关键术语，例如测试、监测、行动水平和警报水平。
- 创建、实施和维护监测计划：为了确保洁净室或洁净区域通过粒子浓度控制提供足够的洁净度，需要制定、实施和维护监测计划。
- 风险评估：应进行风险评估以确定可能影响维持约定的粒子浓度洁净度的因素，并确定提供性能证据的监测要求。
- 监测计划：监测计划应考虑风险评估的输出，并包括列出和说明所有要监测的参数、测量方法的描述和理由、监测仪器的准确性、维护和校准、选定监测位置的确定和理由、监测接受标准或限制的确定、数据记录格式、数据趋势分析方法、报告要求、记录保留政策和媒体、监测计划的审核频率。
- 校准：监测使用的仪器应足够执行所需的监测操作，并应具有有效的校准证书。
- 审核和批准：完成的计划应经过审核和批准。
- 监测期间偏差的响应：如果监测结果超出指定限制，应进行调查以确定原因，并采取必要的纠正措施。
- 定期空气洁净度分类：应根据ISO 14644-1:2015进行年度定期分类测试。
附录A（资料性）提供了制定监测计划时需要考虑的事项，包括风险评估工具的选择、所需性能和操作条件的定义、一般事项、压差监测和空气中粒子监测系统的考虑事项。
附录B（资料性）提供了设置警报和行动水平的考虑事项，包括警报和行动水平的一般基础、压差监测的警报和行动水平设置、空气中粒子计数的警报和行动水平设置。
文档还包括参考文献和其他相关信息。
