ISO 14644-1:2015 洁净室及受控环境 第1部分:通过粒子浓度对空气洁净度进行分类

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这份文件是《ISO 14644-1:2015 洁净室及受控环境 第1部分:通过粒子浓度对空气洁净度进行分类》的国际标准。

内容概述

  1. 范围:该标准规定了洁净室和洁净区域空气中悬浮粒子浓度的洁净度分类,仅考虑累积分布基于阈值(下限)粒子大小在0.1 μm至5 μm范围内的粒子群。
  2. 规范性引用:提到了其他相关标准和文档,如ISO 14644-2。
  3. 术语和定义:定义了与文档相关的一些关键术语,例如洁净室、悬浮粒子、粒子大小、粒子浓度、大粒子、占用状态和测试仪器。
  4. 分类:空气洁净度的分类基于一个或多个占用状态(如建造完成、静止状态或操作状态)以及一个或多个阈值(下限)粒子大小。
  5. 演示符合性:通过执行规定的测试程序和提供测试结果的文件记录来验证符合性。
  6. 测试:提供了参考测试方法,包括使用离散粒子计数器来确定空气中等于和大于指定大小的粒子浓度。
  7. 测试报告:测试结果应记录并提交为一份综合报告,包括测试组织的名称和地址、测试日期、ISO 14644-1:2015的出版编号、洁净室或洁净区域的物理位置识别、指定的洁净室或洁净区域的分类标准、使用的测试方法的详细信息以及测试结果。
  8. 附录
  • 附录A:提供了通过粒子浓度对空气洁净度进行分类的参考方法。
  • 附录B:提供了分类计算的示例。
  • 附录C:介绍了测量和计数空气中大粒子(大于5μm)的方法。
  • 附录D:提供了顺序采样程序。
  • 附录E:规定了中间十进制洁净度等级和粒子大小阈值。
  • 附录F:介绍了测试仪器的规格。

文档还包括参考文献和其他相关信息。

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