ISO 14644 洁净室及相关受控环境体系 第2页

ISO 14644-3:2019 洁净室及受控环境 第3部分:测试方法-苏州设施管理(现代后勤)产业标准化联盟

ISO 14644-3:2019 洁净室及受控环境 第3部分:测试方法

这份文件是《ISO 14644-3:2019 洁净室及受控环境 第3部分:测试方法》的国际标准。 内容概括 附录A(资料性)提供了制定监测计划时需要考虑的事项,包括风险评估工具的选择、所需性能和操作条件的定义、一般事项、压差监测和空气中粒子...

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